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VGB-600-3HD薄膜电池制备系统

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产品名称: VGB-600-3HD薄膜电池制备系统
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

VGB-600-3HD薄膜电池制备系统可在手套箱内进行实验操作,用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。该系统配置三个靶枪,一个配套射频电源通过转换开关可以分别连接至任一靶头,用于各类靶材的溅射镀膜。与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,特别适用于实验室研究薄膜电池、固态电解质及OLED等,与普通磁控溅射相比可以做Li靶材及锂基材料靶材的镀膜实验,是新能源行业实验室镀膜实验的理想设备。


VGB-600-3HD薄膜电池制备系统  的详细介绍


产品名称

VGB-600-3HD薄膜电池制备系统

主要特点

1、配置三个靶枪,一个配套射频电源通过转换开关可以分别连接至任一靶头,用于各类靶材的溅射镀膜(靶枪可以根据客户需要任何调换)。

2、可制备多种薄膜,应用广泛。

3、体积小,操作简便。

4、整机模块化设计,真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计,可根据用户实际需要调整。

5、可根据用户实际需要选择电源,可以一个电源控制多个靶枪,也可多个电源单一控制靶枪(选配)。

6、可在手套箱内进行实验操作,更换各类易氧化的靶材用于镀膜实验。

技术参数

三靶磁控溅射部分

1、电源电压:220V  50Hz

2、总功率:2.5KW

3、极限真空度:< E-6mbar(配合本公司机械泵设备使用可达到 E-3mbar)

4、工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)

5、靶枪数量:3个

6、靶枪冷却方式:水冷

7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)

8、射频溅射功率:300W/500W(可选)

9、载样台:Ø140mm

10、载样台转速:1rpm-20rpm内可调

11、保护气体:Ar、N2等惰性气体

12、进气气路:质量流量计控制2路进气,1个流量为100 SCCM,1个流量为200 SCCM

手套箱部分

1、电源:单相AC110V-220V  50Hz/60Hz

2、壳体材料:304不锈钢

3、手套箱腔体:1220mm×760mm×900mm

4、前级室:设有2个前级室,大前级室Ø360mm×600mm,小前级室Ø150mm×300mm

5、腔体环境:水含量<1ppm(20℃,1atm),氧含量<1ppm(20℃,1atm)

6、工作气体:N2、Ar、He等惰性气体

7、控制气体:压缩空气或惰性气体

8、还原气体:工作气体和H2的混合气(如果净化系统只有除水功能,还原气体与工作气体相同)

9、气体净化系统:德国BASF除氧材料、美国UOP高效吸水材料,净化系统再生过程自动控制,自动除水、 除氧功能,可长期、持续维持气体纯度在水<1ppm、氧<1ppm

10、压力控制系统:腔体气压可通过PLC触摸屏自动控制,控制精度为±1Pa,也可通过脚踏开关进行手动控制

11、过滤系统:进、出气端都装有过滤器,过滤精度为0.3μm

12、控制系统:SIEMENS彩色触摸屏(6寸),PLC控制系统,中英文双语可切换;

 

水探头采用美国GE品牌,0-1000ppm触摸屏显示,精度0.1ppm;

氧变送器采用美国AII品牌,0-1000ppm触摸屏显示,精度0.1ppm;

压力传感仪采用美国setra品牌,-2500-2500Pa触摸屏显示,精度±1Pa;

13、真空泵:采用英国EDWARDS品牌,抽速8.4m3/h-12m3/h

14、手套:美国NORTH品牌丁基合成橡胶

15、照明系统:飞利浦品牌荧光灯管

产品规格

三靶磁控溅射部分:500mm×560mm×660mm

手套箱部分:2300mm×1500mm×1900mm


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