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混气系统3路质子GSL-3Z

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产品名称: 混气系统3路质子GSL-3Z
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉可以放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀,可以用于CVD系统及退火炉,混气系统3路质子GSL-3Z用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。


混气系统3路质子GSL-3Z  的详细介绍

产品型号

混气系统3路质子GSL-3Z

主要特点

精度高,运行稳定可靠,工作压力范围宽,可在高压或真空条件下工作,且操作使用方便。

技术参数

1、电源:185-245V  50Hz

2、输出功率:≤18W

3控制范围:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

5、准确度:±1%FS

6、线性:±0.5-1.5%

7、重复精度:±0.2%FS

8、响应时间:气特性1-4s,电特性10s针阀:316不锈钢

9、工作压差范围:0.1-0.5 MPa

10、压力表测量范围:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11、混气罐:Φ80mm×120mm

12截止阀:Φ1/4″316不锈钢针阀

13、工作温度:5-45

产品规格

尺寸:600mm×600mm×650mm



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