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1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

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产品名称: 1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV
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产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV是由单温区管式炉、三路浮子混气系统和双旋片式真空泵组成,工作温度可达1700℃,混气系统可以对三种气体进行精准的混气,1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV真空度可达5×10-2 torr。


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产品型号

1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。

2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,有效减少能量损失。

3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和延长使用寿命。

4、采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,并设有过热和断偶保护功能。

5、已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1、电源:单相AC 208V-240V   50Hz/60Hz  5KW

2、炉管:99.8%高纯氧化铝陶瓷管,外径Ø80mm,内径Ø72mm,长1000mm

3、加热元件:1800℃级硅钼棒8

4、加热区域:457mm

5、恒温区域:150mm

6、工作温度:≤1700

7、升降温速率:≤5/min

8、控温精度:±1

9、真空度:5×10-2 torr

10、泄漏率:≤6mtorr/min

真空系统

1、真空泵:双旋片机械泵

2、可达真空度:5×10-2 torr

3、法兰:不锈钢密封法兰

4、针阀:2个不锈钢针阀

5、真空泵接口:KF-25

6、软管接头:1/4

7、真空显示计:LED数字式真空显示计,测量范围0.1mtorr-850torr

浮子流量混气系统

1、浮子流量计:3个,精准度4%FS

2、流量计范围:10cc/min-100cc/min16cc/min-160cc/min25cc/min-250cc/min

3、压力表:1个,监测混合气体压力

产品规格

尺寸:管式炉550mm×500mm×700mm,混气系统600mm×600mm×700mm

真空机组600mm×600mm×700mm

重量:210kg

可选配件

防腐型数字式真空显示计


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