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1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8

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产品名称: 1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8
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产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8外炉管直径达到11″,内管直径8.5″,在加热管一端装有一对高真空不锈钢法兰,法兰上配有机械压力表和阀门,三个温区都采用30段可编程数字控温器,并配有K型热电偶进行测温,1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8专门针对于在金属箔上生长薄膜物质。


1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8  的详细介绍

 

产品型号

1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料,可以大程度的减少能量的损失。

2、采用不锈钢真空密封法兰,使用硅胶密封圈进行密封。

3、采用三个PID控制器,可以设置30段升降温程序。

4、加热前需将石英管堵放入炉管,防止热量以热辐射的形式散失。

5、使用内管进行薄膜生长可放置≤8"基片。

6、已通过CE认证。

技术参数

1、电源:单相AC 220V  50Hz/60Hz   8KW(需50A的空气开关)

2、石英管:外管外径Ø279mm,内径Ø269mm,长1300mm,两端打开,可连接法兰

内管外径Ø216mm,内径Ø206mm,长750mm,一端封闭,一端连接气体出入口

3、加热元件:NiCrAl电阻丝

4、加热区域:长900mm

5、温区:3个,各300mm长

6、恒温区域:500mm(三个温区设置一样的温度)

7、工作温度:≤1100℃(<1h),连续工作200℃-1000℃

8、升降温速率:≤10℃/min

9、热电偶:3个,K型

10、控温精度:±1℃

11、真空度:10-2torr(机械泵)

12、法兰:左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口,右侧法兰设有KF-40真空接口和真空阀门

产品规格

尺寸:不包含真空法兰1300mm×623mm×940mm,包含真空法兰1670mm×623mm×940mm

重量:200kg

可选配件

1、石英管堵

2、PC控温软件

3、KF-40转KF-25接头

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