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300W小型自动匹配型射频电源 RF-300I-LD

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产品名称: 300W小型自动匹配型射频电源 RF-300I-LD
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简单介绍

300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起,可以自动匹配容抗和感抗,使得安装和操作更加方便容易。配用本司的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射镀膜仪。


300W小型自动匹配型射频电源 RF-300I-LD  的详细介绍

产品型号

300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD

技术参数

1、电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz

2输入功率:5W-300W(可调),稳定性±1%        

3射频频率:13.56MHz,稳定性±0.005%

4、匹配:自动匹配,空气电容

5、冷却:空气冷却

6、噪音:<50dB

产品规格

尺寸:480mm×400mm×140mm

可选配件

12"高真空磁控溅射头,可自行搭建RFDC溅射镀膜仪。

          

2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射

  头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"

        

3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L

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