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沈阳科晶-多通道质子-流量计控制系统

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产品名称: 沈阳科晶-多通道质子-流量计控制系统
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

沈阳科晶-多通道质子-流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜可以承重≤1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。沈阳科晶-多通道质子-流量计控制系统--GSL-LCD(控制面板为触摸屏)各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。多通道质子流量计控制系统--GSL-LCD(控制面板为触摸屏)广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。


沈阳科晶-多通道质子-流量计控制系统  的详细介绍


产品型号

GSL-LCD(控制面板为触摸屏)

技术参数

功能

双通道

三通道

四通道

五通道


质子流量控制器

工作温度:≤5~45ºC  
压力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:≤5~45 ºC
压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±0.5-1.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: ≤5~45 ºC
压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: ≤5~45 ºC
压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±0.5-1.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

产品规格

外形尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

输入电源

AC 220V/50Hz单相

  

23W

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

  

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀

Φ1/4” 不锈钢管


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