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EQ-TM106膜厚监测仪

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产品名称: EQ-TM106膜厚监测仪
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。


EQ-TM106膜厚监测仪  的详细介绍

产品型号

EQ-TM106膜厚监测仪

主要特点

1本机可与计算机连接。

2显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM  

      控制输出的百分比等工作状态。

3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并  可将所测相关数据写入Excel文件

4具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

技术参数

EQ-TM106-1监测组

1源:DC   5V±10%),电流≤400mA

2频率分辨率:±0.03Hz

3膜厚分辨率:0.0136Å(铝)

4膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度

5测量速度:100ms-1s/次,可设置

6测量范围:500000Å(铝)

7标准传感器晶体:6MHz

8计算机接口:RS-232/485串行接口(波特率12002400480096001920038400可设置,数据位:8

                             ,停止位:1,校验:无)

9模拟输出:8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)

10作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示

1输入电源:AC 220V±10%

2输出电源:DC   5V  3A

3显示器:12×2数码管与LED

4通讯端口:RS-485(波特率12002400480096001920038400可设置,数据位:8位,停止位:1位         ,奇偶校验:无)

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3

1适用晶片频率:6MHz

2适用晶片尺寸:Φ14mm

3装法兰:CF35

4冷却水管:Φ3mm,长度300mm500mm1000mm

5却水压:<0.3MPa

6气动挡板路管:Φ3mm

7压缩空气压力:<0.8MPa>0.5MPa

8烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100

9电气接口:BCN插座

标准配件

1

EQ-TM106-1监测组件

1

2

EQ-TM106-2显示仪

1

3

EQ-TM106-3探头

1


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