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OTF-1200X-4-C4LVS 双管滑动快速加热冷却炉

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产品名称: OTF-1200X-4-C4LVS 双管滑动快速加热冷却炉
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

OTF-1200X-4-C4LVS 双管滑动快速加热冷却炉是特殊的双管CVD系统,是专为在金属箔上生长薄膜而设计的,特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。OTF-1200X-4-C4LVS 双管滑动快速加热冷却炉可通过滑动炉体,实现快速加热和冷却。


OTF-1200X-4-C4LVS 双管滑动快速加热冷却炉  的详细介绍

 

OTF-1200X-4-C4LVS双管滑动快速加热冷却炉操作视频 控温仪表操作视频

产品型号

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

主要特点

1采用高纯Al2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性,内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以  提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命

2、设有双石英管,金属箔缠绕在内管的外表面上,以发生CVD反应。

3双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管。

4、配有四通道质量流量计控制4路气体,及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

5、底部设有滑轨,炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温。

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

技术参数

1电源:单相208-240V AC  50/60Hz  2.5KW20A保险丝)

2、石英管:外管外径Φ100mm,内径Φ96mm,长1400mm

内管外径Φ80mm,内径Φ75mm,长1400mm

3、加热区:440mm

4恒温区120mm(双温区炉可获得240mm

5工作温度:温度≤1100℃,连续温度1000

6控温精度:±1

7、升降温速度:在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

              

8、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

9真空法兰:SS304不锈钢配有两个高温O型圈密封

10、流量计:4路精密质子流量计,气体流量自动控制(数字显示)

                      MFC1范围0-100sccm    MFC2范围0-200sccm

                      MFC3范围0-200sccm    MFC4范围0-500sccm

11、流量精度:0.2%

12、进出气口:1/4卡套

产品规格

尺寸:550mm×380mm×520mm重量:138kg

可选配件

1铜箔150m×150mm×25µm,生长石墨烯用)

2防腐型数字真空计


       

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