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GSL-1100X-6-S-6″单温区CVD真空管式炉

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产品名称: GSL-1100X-6-S-6″单温区CVD真空管式炉
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

GSL-1100X-6-S-6″单温区CVD真空管式炉是一款炉管内径为6″的真空管式炉,可以在不同气氛下,在≤5″的基片上生长多种薄膜。


GSL-1100X-6-S-6″单温区CVD真空管式炉  的详细介绍

产品型号

6单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S

主要特点

1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能壳体温度<70℃。

2采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封

3设有K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

5已通过CE认证。

技术参数

1电源:AC 220V  8KW

2、石英管:内径Φ152mm,长1016mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:600mm

5恒温区域200mm

6工作温度:1100连续工作400-1000

7、升降温速率:≤10/min

8热电偶:双K

9、控温精度:±1

10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

11、铠装热偶检测口:1

12、真空接口:KF40

产品规格

尺寸:1000mm×680mm×920mm重量:250kg

标准配件

1

石英管

1

2

氧化铝管堵

2

可选配件

1软件接口模块和PC

2、石英管

3、石英管堵

4K型热电偶(Φ6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

5、真空泵


 

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