沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供最为实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外知名企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。卓越的性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、瑞典、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。
沈阳科晶一直致力于高等院校、研究所、生产企业的科研服务,即产品定位于研究市场,主要面向广大等院高校、科研机构、实验室以及工厂的小规模生产。多年以来,已与全国众多高校、研究院所建立了良好的合作、服务关系。其中北京大学、清华大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、东北大学等知名高校,中国科学院金属研究所、上海硅酸盐研究所、中国科学院地质与地球物理研究所等科研机构,中国航天工业集团公司、中国船舶重工集团公司、攀钢集团有限公司等著名企业都是长期合作的荣誉客户。
产品型号
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪
主要特点
1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得 更佳镀膜效果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
6、溅射头采用Peltier制冷技术,可得到高性能、精细颗粒的涂层。
7、可用水冷溅射头、水冷载物台。
技术参数
1、靶:Φ50mm
2、真空室:Φ160mm×120mm
3、真空度:≤4×10-2mbar
4、电流:≤50mA(100mA)
5、可设定*长时间:9999s
6、微型真空气阀:连接Φ3mm软管
7、电压:≤1600V DC
8、机械泵:2L/s
产品规格
尺寸:360mm×300mm×380mm
标准配件
1
金靶材
1个
2
进气针阀
3
保险丝
2个
可选配件
金、铟、银、铂等各种靶材
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪操作视频
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪 GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪 GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪
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