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GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射岩样镀膜机

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产品名称: GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射岩样镀膜机
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
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简单介绍

GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的简单、可靠、经济的镀膜设备,GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。


GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射岩样镀膜机  的详细介绍

 

产品型号

GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪

主要特点

1设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。

2通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得  更佳镀膜效果

3钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。

6溅射头采用Peltier制冷技术,可得到高性能、精细颗粒的涂层。

7可用水冷溅射头、水冷载物台。

技术参数

1、靶:Φ50mm

2、真空室:Φ160mm×120mm

3、真空度:≤4×10-2mbar

4、电流:≤50mA100mA

5可设定*长时间:9999s

6、微型真空气阀:连接Φ3mm软管

7、电压:≤1600V   DC

8、机械泵:2L/s

产品规格

尺寸:360mm×300mm×380mm

标准配件

1

金靶材

1

2

进气针阀

1

3

保险丝

2

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材

GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪操作视频

 

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